案例介紹

• 項(xiàng)目名稱:港新片區(qū)某某半導(dǎo)體千級(jí)/萬(wàn)級(jí)凈化車間
• 建筑面積:4600
• 服務(wù)項(xiàng)目:電子半導(dǎo)體
• 項(xiàng)目地址:上海浦東臨港
• 施工工期：90天
• 潔凈等級(jí):千級(jí)/萬(wàn)級(jí)

案例詳情

　　一、工程概況

　　1.1 項(xiàng)目基本信息本項(xiàng)目為上海某某半導(dǎo)體有限公司千級(jí)/萬(wàn)級(jí)凈化車間建設(shè)工程，項(xiàng)目位于上海市浦東新區(qū)臨港芯片去工業(yè)園區(qū)，總建筑面積4600㎡，其中核心生產(chǎn)區(qū)包含千級(jí)潔凈區(qū)(ISO 6級(jí))860㎡、萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)(ISO 7級(jí))1200㎡，配套設(shè)置人員凈化區(qū)、物料凈化區(qū)、設(shè)備機(jī)房、緩沖間、化學(xué)品暫存間等輔助功能區(qū)740㎡。項(xiàng)目服務(wù)于半導(dǎo)體芯片封裝測(cè)試、晶圓減薄及精密元器件生產(chǎn)工藝，需滿足半導(dǎo)體制造對(duì)高潔凈度、防靜電、防微振、恒溫恒濕、氣態(tài)分子污染物(AMC)精準(zhǔn)管控的核心需求，建成后需通過(guò)ISO 14644體系認(rèn)證及第三方CMA檢測(cè)，符合上海地區(qū)工業(yè)廠房建設(shè)安全、環(huán)保、消防相關(guān)規(guī)范要求。

　　1.2 核心環(huán)境控制參數(shù)本項(xiàng)目潔凈區(qū)核心參數(shù)嚴(yán)格遵循《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472-2008及《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2013要求，具體指標(biāo)如下：

　　1.3 項(xiàng)目施工核心目標(biāo)

　　質(zhì)量目標(biāo)：?jiǎn)挝还こ桃淮涡则?yàn)收合格率100%，潔凈區(qū)各項(xiàng)參數(shù)100%達(dá)標(biāo)，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝要求，杜絕滲漏、積塵、靜電隱患等質(zhì)量問(wèn)題;

　　工期目標(biāo)：總工期90日歷天，其中圍護(hù)結(jié)構(gòu)封閉30天，機(jī)電安裝35天，系統(tǒng)調(diào)試與檢測(cè)25天;

　　安全目標(biāo)：零重大安全事故、零火災(zāi)事故、零人員傷亡事故，符合上海市建筑施工安全標(biāo)準(zhǔn)化管理要求;

　　環(huán)保目標(biāo)：施工揚(yáng)塵、噪聲、廢棄物排放符合上海市環(huán)保管控要求，竣工后室內(nèi)污染物濃度達(dá)標(biāo)。

　　二、編制依據(jù)

　　1. 國(guó)家及行業(yè)現(xiàn)行規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)：

　　《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2013

　　《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472-2008

　　《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB50591-2010

　　《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50243-2016

　　《建筑電氣工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50303-2015

　　《電子工業(yè)防微振工程技術(shù)規(guī)范》GB51076-2015

　　《防靜電地面施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB/T 39064-2020

　　ISO 14644-1:2015《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第1部分：空氣潔凈度等級(jí)》

　　2. 地方規(guī)范與管理要求：《上海市建設(shè)工程施工安全監(jiān)督管理辦法》《上海市建筑消防設(shè)施管理規(guī)定》《上海市工業(yè)廠房環(huán)境保護(hù)管理規(guī)范》;

　　3. 項(xiàng)目設(shè)計(jì)文件：上海某某半導(dǎo)體有限公司提供的生產(chǎn)工藝需求書、潔凈車間施工圖紙、工程量清單及技術(shù)要求;

　　4. 企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：施工單位ISO9001質(zhì)量管理體系、ISO14001環(huán)境管理體系、ISO45001職業(yè)健康安全管理體系相關(guān)文件。

　　三、施工總體部署

　　3.1 項(xiàng)目管理架構(gòu)本項(xiàng)目實(shí)行項(xiàng)目經(jīng)理負(fù)責(zé)制，組建專項(xiàng)施工管理團(tuán)隊(duì)，設(shè)置項(xiàng)目經(jīng)理1名、技術(shù)負(fù)責(zé)人1名、施工員2名、質(zhì)量員2名、安全員2名、材料員1名、資料員1名，下設(shè)潔凈圍護(hù)施工班組、凈化機(jī)電安裝班組、防靜電地面施工班組、自控系統(tǒng)調(diào)試班組，所有施工人員均需經(jīng)過(guò)潔凈室施工專項(xiàng)培訓(xùn)，持證上崗，特種作業(yè)人員100%持證上崗。

　　3.2 總體施工流程本項(xiàng)目遵循“先結(jié)構(gòu)后裝飾、先一般后潔凈、先土建后機(jī)電、先封閉后凈化”的核心原則，分6個(gè)階段推進(jìn)施工，具體流程如下：

　　施工準(zhǔn)備→土建基層驗(yàn)收與場(chǎng)地圍擋→圍護(hù)結(jié)構(gòu)施工與車間封閉→凈化空調(diào)/電氣/管道系統(tǒng)安裝→裝飾面層與輔助設(shè)施安裝→系統(tǒng)聯(lián)合調(diào)試與清潔吹掃→第三方檢測(cè)與竣工驗(yàn)收。

　　3.3 施工階段潔凈管控分級(jí)針對(duì)半導(dǎo)體潔凈車間的防污染要求，將施工過(guò)程劃分為3個(gè)管控等級(jí)，實(shí)施分級(jí)管控：

　　1. 非潔凈施工階段：圍護(hù)結(jié)構(gòu)封閉前，主要完成場(chǎng)地清理、地軌安裝、管線預(yù)埋、土建基層處理等作業(yè)，重點(diǎn)管控施工揚(yáng)塵，設(shè)置全封閉施工圍擋，作業(yè)區(qū)每日灑水降塵，嚴(yán)禁帶泥沙、粉塵的材料進(jìn)入施工區(qū);

　　2. 準(zhǔn)潔凈施工階段：圍護(hù)結(jié)構(gòu)全封閉后，主要完成風(fēng)管安裝、空調(diào)機(jī)組就位、電氣管線敷設(shè)、吊頂骨架安裝等作業(yè)，施工人員需穿戴鞋套、工作服，嚴(yán)禁在車間內(nèi)進(jìn)行切割、打磨等產(chǎn)塵作業(yè)，所有產(chǎn)塵工序均需在車間外預(yù)制完成后進(jìn)場(chǎng)，每日施工結(jié)束后用吸塵器全面清潔; 3. 超潔凈施工階段：高效過(guò)濾器安裝前至竣工驗(yàn)收，主要完成FFU安裝、高效過(guò)濾器安裝、地面面層施工、密封處理、系統(tǒng)調(diào)試等作業(yè)，實(shí)行人員準(zhǔn)入制度，施工人員需經(jīng)換鞋、更衣、風(fēng)淋后方可進(jìn)入，穿戴專用潔凈服、口罩、手套，嚴(yán)禁攜帶無(wú)關(guān)物品進(jìn)入，所有工具均需清潔消毒，車間內(nèi)嚴(yán)禁吸煙、飲食，每日施工結(jié)束后開(kāi)啟空調(diào)系統(tǒng)持續(xù)吹掃。

　　3.4 施工分區(qū)規(guī)劃

　　結(jié)合車間潔凈度等級(jí)與工藝流程，將施工區(qū)域劃分為千級(jí)潔凈區(qū)、萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)、輔助功能區(qū)、設(shè)備機(jī)房區(qū)四大區(qū)塊，實(shí)行分區(qū)分段流水施工，優(yōu)先完成千級(jí)潔凈區(qū)的圍護(hù)與機(jī)電安裝，再推進(jìn)萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)施工，輔助區(qū)與機(jī)房區(qū)同步穿插作業(yè)，避免不同潔凈區(qū)施工交叉污染。

　　四、主要分部分項(xiàng)工程施工方案

　　4.1 潔凈圍護(hù)結(jié)構(gòu)工程施工方案圍護(hù)結(jié)構(gòu)是潔凈車間的物理屏障，核心作用是杜絕外界污染、防止積塵、保證車間密封性，本項(xiàng)目千級(jí)、萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)均采用50mm厚A級(jí)防火手工巖棉玻鎂彩鋼板，彩鋼板表面覆膜、平整度偏差≤0.5mm/m，陰陽(yáng)角采用R≥50mm圓弧角處理，避免積塵死角。

　　1. 施工流程：測(cè)量放線→地面地軌安裝→墻板安裝→吊頂安裝→門窗安裝→接縫密封處理→氣密性檢測(cè)

　　2. 核心施工要點(diǎn)：

　　測(cè)量放線：以車間建筑軸線為基準(zhǔn)，精準(zhǔn)定位潔凈區(qū)墻體、門窗、設(shè)備洞口位置，放線誤差≤2mm，標(biāo)高基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)置不少于3個(gè)，復(fù)核無(wú)誤后進(jìn)行下道工序;

　　地軌安裝：采用U型鍍鋅地軌，用膨脹螺栓固定，間距≤500mm，安裝水平度偏差≤1mm/m，地軌與地面縫隙用密封膠填實(shí)，杜絕潮氣滲透;

　　墻板安裝：墻板拼接采用企口式連接，拼接縫寬度≤0.5mm，垂直度偏差≤1mm/m，墻板與地面、頂板交接處均采用圓弧角過(guò)渡，所有管線穿越墻板處均設(shè)置專用套管，套管與管線之間用潔凈密封膠雙重密封;

　　吊頂安裝：千級(jí)潔凈區(qū)吊頂采用T型鋁合金龍骨，承載力≥80kg/㎡，滿足FFU設(shè)備安裝荷載要求，萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)采用C型鋼龍骨，吊頂平整度偏差≤2mm/m，吊頂板拼接縫均勻，預(yù)留FFU、燈具、檢修口洞口尺寸偏差≤3mm，吊頂與墻體交接處做密封處理;

　　門窗安裝：潔凈門采用雙層中空鋼化玻璃氣密門，無(wú)門檻設(shè)計(jì)，門框與墻板無(wú)縫連接，安裝后啟閉靈活，氣密性達(dá)標(biāo);觀察窗采用雙層鋼化玻璃，與墻面齊平，無(wú)突出邊角，玻璃與窗框之間用中性硅酮密封膠密封，杜絕滲漏;

　　密封處理：所有墻板、吊頂、門窗的拼接縫、陰陽(yáng)角、管線穿越處，均采用低揮發(fā)性、防霉型潔凈中性硅酮密封膠連續(xù)打膠，打膠前清理縫隙內(nèi)灰塵、雜物，確保膠縫光滑、連續(xù)、無(wú)氣泡、無(wú)斷點(diǎn)，施工完成后進(jìn)行氣密性檢測(cè)，確保車間整體密封性達(dá)標(biāo)。

　　4.2 凈化空調(diào)與通風(fēng)系統(tǒng)工程施工方案

　　凈化空調(diào)系統(tǒng)是潔凈車間的核心，決定了潔凈度、溫濕度、壓差等關(guān)鍵參數(shù)，本項(xiàng)目針對(duì)不同潔凈等級(jí)采用差異化系統(tǒng)設(shè)計(jì)：千級(jí)潔凈區(qū)采用“新風(fēng)集中處理+組合式空調(diào)機(jī)組+干冷盤管+FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元”的直流式系統(tǒng)，萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)采用“組合式空調(diào)機(jī)組+高效送風(fēng)口+集中回風(fēng)”的系統(tǒng)，兩級(jí)過(guò)濾均采用G4初效+F8中效+H14高效三級(jí)過(guò)濾，過(guò)濾效率≥99.995%@0.3μm。

　　1. 施工流程：風(fēng)管預(yù)制與清洗→風(fēng)管安裝→空調(diào)機(jī)組/風(fēng)機(jī)安裝→水管安裝→FFU/高效送風(fēng)口安裝→系統(tǒng)吹掃→高效過(guò)濾器安裝→系統(tǒng)單機(jī)調(diào)試→聯(lián)合聯(lián)動(dòng)調(diào)試

　　2. 核心施工要點(diǎn)： - 風(fēng)管預(yù)制與清洗：潔凈風(fēng)管在專用潔凈加工車間預(yù)制，采用優(yōu)質(zhì)鍍鋅鋼板，厚度符合高壓系統(tǒng)要求，矩形風(fēng)管嚴(yán)禁設(shè)置橫向拼接縫，縱向拼接縫數(shù)量控制在最少，咬口形式采用聯(lián)合角咬口，嚴(yán)禁使用按扣式咬口。風(fēng)管預(yù)制完成后，用中性清洗劑去除油污、粉塵，經(jīng)檢查合格后用塑料膜兩端封口，存放于干燥潔凈的庫(kù)房?jī)?nèi)，運(yùn)輸過(guò)程中避免破損、污染;

　　風(fēng)管安裝：風(fēng)管安裝前拆除封口膜，再次用吸塵器清潔內(nèi)壁，安裝過(guò)程中隨時(shí)對(duì)未連接的風(fēng)管端口進(jìn)行封口，嚴(yán)禁敞口存放。風(fēng)管法蘭連接采用閉孔三元乙丙橡膠密封墊，厚度5mm，接頭采用階梯式或榫接，嚴(yán)禁平接。風(fēng)管支吊架間距符合規(guī)范要求，保溫風(fēng)管設(shè)置防冷橋木托，千級(jí)潔凈區(qū)風(fēng)管系統(tǒng)漏風(fēng)率≤1%，萬(wàn)級(jí)≤2%，安裝完成后進(jìn)行漏光、漏風(fēng)檢測(cè)，合格后方可進(jìn)行保溫施工;

　　設(shè)備安裝：組合式空調(diào)機(jī)組安裝在減震基礎(chǔ)上，水平度偏差≤0.5mm/m，機(jī)組各功能段連接嚴(yán)密，無(wú)滲漏，進(jìn)出水口采用柔性連接;FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元安裝前進(jìn)行通電試運(yùn)轉(zhuǎn)，檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行狀態(tài)、噪音，安裝時(shí)與吊頂板之間采用密封墊密封，固定牢固，千級(jí)潔凈區(qū)FFU布置覆蓋率≥35%，確保氣流組織均勻;

　　高效過(guò)濾器安裝：高效過(guò)濾器安裝是潔凈施工的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，必須在潔凈室全面清潔、空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)吹掃12小時(shí)以上后進(jìn)行。安裝前對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行外觀檢查，確認(rèn)無(wú)破損、變形，隨后進(jìn)行出廠檢漏，合格后方可安裝。安裝時(shí)采用液槽密封或機(jī)械壓緊密封，確保過(guò)濾器與框架之間密封嚴(yán)密，無(wú)滲漏，安裝完成后采用PAO法進(jìn)行掃描檢漏，過(guò)濾器本體、密封面、框架處的泄漏率≤0.01%，不合格的必須更換或重新密封;

　　系統(tǒng)調(diào)試：先進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)，空調(diào)機(jī)組、風(fēng)機(jī)、水泵等設(shè)備連續(xù)運(yùn)行不少于2小時(shí)，檢查運(yùn)行電流、振動(dòng)、噪音均符合要求;隨后進(jìn)行系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)調(diào)試，調(diào)整各風(fēng)閥開(kāi)度，確保潔凈區(qū)換氣次數(shù)、壓差、溫濕度達(dá)到設(shè)計(jì)要求，千級(jí)潔凈區(qū)與萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)、非潔凈區(qū)之間形成穩(wěn)定的正壓梯度，氣流方向從高潔凈區(qū)向低潔凈區(qū)單向流動(dòng)，杜絕氣流短路、倒流。

　　4.3 防靜電地面工程施工方案半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)靜電極為敏感，靜電放電會(huì)造成芯片擊穿、元器件損壞，本項(xiàng)目千級(jí)、萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)均采用**3mm厚環(huán)氧防靜電自流平地面，具備防靜電、耐磨、耐腐蝕、無(wú)縫隙、易清潔的特點(diǎn)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)防靜電標(biāo)準(zhǔn)要求。

　　1. 施工流程：混凝土基層處理→底涂施工→中涂砂漿層施工→導(dǎo)電銅箔網(wǎng)格鋪設(shè)→中涂膩?zhàn)訉邮┕ぁ漓o電面涂自流平施工→養(yǎng)護(hù)→防靜電性能檢測(cè)

　　2. 核心施工要點(diǎn)： - 基層處理：混凝土基層強(qiáng)度≥C25，平整度用2m靠尺檢查，偏差≤2mm，含水率≤6%，無(wú)起砂、空鼓、開(kāi)裂缺陷。采用地面研磨機(jī)全面打磨基層，去除浮漿、油污，露出新鮮混凝土面，隨后用吸塵器全面清理灰塵;

　　導(dǎo)電層鋪設(shè)：底涂施工完成后，鋪設(shè)0.05mm厚導(dǎo)電銅箔，網(wǎng)格間距600mm×600mm，銅箔鋪設(shè)平整、無(wú)斷裂，每隔10m設(shè)置一個(gè)接地端子，與車間防靜電接地系統(tǒng)可靠連接，接地電阻≤1Ω，鋪設(shè)完成后檢測(cè)銅箔導(dǎo)通性，確保無(wú)斷點(diǎn);

　　面層施工：防靜電自流平面涂施工前，確保環(huán)境溫度15-25℃，相對(duì)濕度≤70%，施工區(qū)域無(wú)揚(yáng)塵、無(wú)交叉作業(yè)。面涂材料按配比充分?jǐn)嚢?，用鋸齒鏝刀均勻刮涂，配合消泡滾筒消除氣泡，確保面層厚度均勻、平整光滑，無(wú)流掛、無(wú)針孔、無(wú)氣泡，千級(jí)潔凈區(qū)地面平整度偏差≤1mm/2m;

　　養(yǎng)護(hù)與檢測(cè)：面層施工完成后，封閉養(yǎng)護(hù)不少于7天，養(yǎng)護(hù)期間嚴(yán)禁人員進(jìn)入、嚴(yán)禁堆放物品。養(yǎng)護(hù)完成后，檢測(cè)地面防靜電性能，表面電阻10?~10?Ω，體積電阻10?~10?Ω，接地電阻≤1Ω，各項(xiàng)指標(biāo)符合設(shè)計(jì)及規(guī)范要求后方可投入使用。

　　4.4 電氣與自控系統(tǒng)工程施工方案本項(xiàng)目電氣系統(tǒng)分為動(dòng)力配電系統(tǒng)、潔凈照明系統(tǒng)、防靜電接地系統(tǒng)，自控系統(tǒng)采用PLC可編程控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)潔凈區(qū)環(huán)境參數(shù)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與自動(dòng)調(diào)節(jié)，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)的穩(wěn)定運(yùn)行要求。

　　1. 電氣系統(tǒng)施工要點(diǎn)：

　　動(dòng)力配電：潔凈區(qū)配電箱采用嵌入式潔凈配電箱，防護(hù)等級(jí)IP54，箱體與墻板之間密封處理，無(wú)積塵死角。線纜采用鍍鋅鋼管暗敷，嚴(yán)禁明敷，所有管線穿越潔凈區(qū)墻體處均做密封處理。生產(chǎn)設(shè)備動(dòng)力回路單獨(dú)設(shè)置，配備浪涌保護(hù)裝置，避免電壓波動(dòng)影響設(shè)備運(yùn)行;

　　潔凈照明：采用LED潔凈平板燈，吸頂安裝，與吊頂板之間密封處理，無(wú)突出邊角，燈具布置均勻，千級(jí)潔凈區(qū)工作面照度≥500lux，萬(wàn)級(jí)≥300lux，照度均勻度≥0.7。應(yīng)急照明系統(tǒng)采用自帶電源型應(yīng)急燈具，連續(xù)供電時(shí)間≥90min，疏散指示標(biāo)志符合消防規(guī)范要求;

　　接地系統(tǒng)：設(shè)置聯(lián)合接地網(wǎng)，包含防靜電接地、設(shè)備保護(hù)接地、防雷接地，聯(lián)合接地電阻≤1Ω。潔凈區(qū)內(nèi)所有金屬構(gòu)件、設(shè)備、管線、門窗、導(dǎo)電地面均與接地系統(tǒng)可靠連接，形成等電位體，避免靜電積累和電位差，防靜電接地干線采用銅芯電纜，支線采用多股銅芯線，連接牢固，導(dǎo)通性良好。

　　2. 自控系統(tǒng)施工要點(diǎn)：

　　傳感器安裝：在千級(jí)潔凈區(qū)每50㎡設(shè)置1個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)，萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)每100㎡設(shè)置1個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)，安裝溫濕度傳感器、壓差傳感器、懸浮粒子計(jì)數(shù)器，傳感器安裝位置避開(kāi)送風(fēng)口、回風(fēng)口，確保監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。關(guān)鍵生產(chǎn)區(qū)域設(shè)置在線粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)傳輸數(shù)據(jù)至中控室;

　　控制系統(tǒng)安裝：采用PLC+觸摸屏的控制架構(gòu)，搭配工業(yè)組態(tài)軟件，實(shí)現(xiàn)空調(diào)機(jī)組、FFU、風(fēng)閥、水泵的變頻控制，根據(jù)環(huán)境參數(shù)自動(dòng)調(diào)節(jié)送風(fēng)量、制冷量、加濕量，確保潔凈區(qū)溫濕度、壓差穩(wěn)定在設(shè)定范圍。系統(tǒng)設(shè)置超限報(bào)警功能，當(dāng)潔凈度、壓差等參數(shù)超標(biāo)時(shí)，自動(dòng)發(fā)出聲光報(bào)警，并聯(lián)動(dòng)調(diào)整設(shè)備運(yùn)行狀態(tài);

　　系統(tǒng)調(diào)試：完成硬件安裝后，進(jìn)行系統(tǒng)聯(lián)調(diào)，校準(zhǔn)各傳感器監(jiān)測(cè)精度，調(diào)試PID控制參數(shù)，確保系統(tǒng)響應(yīng)及時(shí)、控制精準(zhǔn)，各項(xiàng)參數(shù)波動(dòng)在設(shè)計(jì)允許范圍內(nèi)，同時(shí)完成數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、報(bào)警、歷史查詢等功能調(diào)試，確保系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行。

　　4.5 工藝輔助設(shè)施安裝工程

　　1. 人員凈化設(shè)施安裝：按照“換鞋→一次更衣→二次更衣→風(fēng)淋室→潔凈區(qū)”的流程設(shè)置人員凈化通道，風(fēng)淋室安裝在潔凈區(qū)入口，千級(jí)潔凈區(qū)風(fēng)淋室噴嘴數(shù)量≥16個(gè)，風(fēng)速≥25m/s，吹淋時(shí)間10-99s可調(diào)，萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)風(fēng)淋室風(fēng)速≥20m/s，風(fēng)淋室與前后門設(shè)置電氣互鎖，杜絕同時(shí)開(kāi)啟。更衣區(qū)設(shè)置更衣柜、鞋柜、洗手池、手消毒器，配套設(shè)置應(yīng)急撤離通道。

　　2. 物料凈化設(shè)施安裝：物料通道與人員通道完全分離，設(shè)置外包裝清潔間、緩沖間、傳遞窗，千級(jí)潔凈區(qū)采用層流互鎖傳遞窗，萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)采用普通互鎖傳遞窗，傳遞窗配備紫外線殺菌燈，前后門電氣互鎖，杜絕交叉污染。大件物料設(shè)置貨淋室，風(fēng)速≥20m/s，吹淋時(shí)間可調(diào)，滿足生產(chǎn)設(shè)備、大宗物料的凈化需求。

　　3. 工藝管道安裝：純水管、壓縮空氣管、氮?dú)夤懿捎?16L不銹鋼管，內(nèi)壁電解拋光，焊接采用氬弧焊雙面成型，安裝完成后進(jìn)行酸洗鈍化、吹掃、氣密性試驗(yàn)，確保管路無(wú)泄漏、無(wú)二次污染，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)高純介質(zhì)輸送要求。排風(fēng)系統(tǒng)針對(duì)化學(xué)品揮發(fā)區(qū)域設(shè)置獨(dú)立排風(fēng)，采用防腐風(fēng)管，配備廢氣處理裝置，達(dá)標(biāo)后排放。 五、專項(xiàng)施工規(guī)范與質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)

　　5.1 潔凈圍護(hù)結(jié)構(gòu)施工規(guī)范

　　1. 潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)所用材料必須符合設(shè)計(jì)要求，具備防火、防潮、耐腐蝕、不產(chǎn)塵、不吸塵的性能，進(jìn)場(chǎng)時(shí)附帶產(chǎn)品合格證、檢測(cè)報(bào)告，進(jìn)場(chǎng)后進(jìn)行外觀檢查，不合格材料嚴(yán)禁使用;

　　2. 墻板安裝垂直度偏差≤1mm/m，全高偏差≤3mm，吊頂平整度偏差≤2mm/m，拼接縫高低差≤0.5mm，所有拼接縫必須連續(xù)打膠密封，膠縫寬度均勻，無(wú)斷膠、氣泡、開(kāi)裂缺陷;

　　3. 潔凈門窗安裝必須牢固，啟閉靈活，關(guān)閉后密封嚴(yán)密，無(wú)滲漏，觀察窗玻璃與墻面齊平，無(wú)凹槽、突出邊角，杜絕積塵;

　　4. 所有穿越圍護(hù)結(jié)構(gòu)的管線、橋架均需設(shè)置套管，套管與墻體之間密封嚴(yán)密，管線與套管之間采用阻燃密封材料填實(shí)，外側(cè)用潔凈密封膠封閉，嚴(yán)禁管線直接穿越墻體不做密封處理。

　　5.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)施工規(guī)范

　　1. 潔凈風(fēng)管制作必須在專用潔凈車間內(nèi)進(jìn)行，嚴(yán)禁在露天或粉塵環(huán)境中制作，風(fēng)管板材表面無(wú)劃痕、銹蝕、油污，拼接縫密封嚴(yán)密，制作完成后必須進(jìn)行清洗、封口，方可運(yùn)輸、安裝;

　　2. 風(fēng)管安裝過(guò)程中，嚴(yán)禁拆除端口封口，安裝中斷時(shí)，隨時(shí)對(duì)敞口端口進(jìn)行封堵，避免粉塵進(jìn)入，風(fēng)管支吊架防腐處理到位，保溫風(fēng)管支吊架設(shè)置防腐木托，避免冷橋結(jié)露;

　　3. 高效過(guò)濾器必須在潔凈室清潔、系統(tǒng)吹掃完成后安裝，搬運(yùn)、安裝過(guò)程中輕拿輕放，嚴(yán)禁擠壓、碰撞濾芯，安裝前進(jìn)行外觀檢查和檢漏，安裝后100%進(jìn)行PAO掃描檢漏，泄漏率超標(biāo)必須整改;

　　4. 系統(tǒng)調(diào)試完成后，潔凈區(qū)換氣次數(shù)偏差≤10%，靜壓差偏差≤10%，溫濕度控制精度達(dá)到設(shè)計(jì)要求，潔凈度等級(jí)經(jīng)第三方檢測(cè)達(dá)標(biāo)，噪聲、照度符合規(guī)范要求。

　　5.3 防靜電地面施工規(guī)范

　　1. 基層處理必須到位，混凝土基層強(qiáng)度、平整度、含水率必須符合設(shè)計(jì)要求，打磨后全面清理粉塵，無(wú)油污、浮漿、空鼓缺陷;

　　2. 導(dǎo)電銅箔鋪設(shè)平整，網(wǎng)格間距均勻，與接地系統(tǒng)可靠連接，導(dǎo)通性良好，嚴(yán)禁出現(xiàn)銅箔斷裂、虛接問(wèn)題;

　　3. 防靜電涂料配比嚴(yán)格按照產(chǎn)品說(shuō)明書執(zhí)行，攪拌均勻，施工環(huán)境溫度、濕度符合要求，面層施工一次完成，確保厚度均勻、平整光滑，無(wú)針孔、流掛、氣泡缺陷;

　　4. 地面養(yǎng)護(hù)期間嚴(yán)禁人員進(jìn)入、嚴(yán)禁堆放重物，養(yǎng)護(hù)完成后，防靜電性能、耐磨性能、耐腐蝕性能經(jīng)檢測(cè)達(dá)標(biāo)，方可投入使用。

　　5.4 質(zhì)量控制管理制度本項(xiàng)目實(shí)行“三檢制”質(zhì)量管理制度，每道工序完成后，施工班組自檢、工序之間互檢、專職質(zhì)量員專檢，驗(yàn)收合格后方可進(jìn)入下道工序，隱蔽工程必須經(jīng)監(jiān)理、建設(shè)單位驗(yàn)收合格后，方可進(jìn)行隱蔽施工。針對(duì)潔凈室密封性、風(fēng)管漏風(fēng)率、高效過(guò)濾器檢漏、防靜電性能等關(guān)鍵控制點(diǎn)，設(shè)置停止點(diǎn)，未經(jīng)檢查驗(yàn)收，嚴(yán)禁進(jìn)入下道工序。所有施工過(guò)程同步形成完整的施工資料，確保資料真實(shí)、完整、可追溯，與工程進(jìn)度同步。

　　六、施工過(guò)程潔凈管控規(guī)范

　　1. 人員管控：建立人員準(zhǔn)入制度，所有進(jìn)入潔凈施工區(qū)的人員必須經(jīng)過(guò)專項(xiàng)培訓(xùn)，了解潔凈施工防污染要求。進(jìn)入準(zhǔn)潔凈區(qū)必須穿戴鞋套、工作服，進(jìn)入超潔凈區(qū)必須經(jīng)換鞋、更衣、風(fēng)淋程序，穿戴專用潔凈服、口罩、手套，嚴(yán)禁攜帶手機(jī)、鑰匙、食品等無(wú)關(guān)物品進(jìn)入，嚴(yán)禁在潔凈區(qū)內(nèi)吸煙、飲食、隨地吐痰，嚴(yán)禁在潔凈區(qū)內(nèi)奔跑、打鬧，減少人員活動(dòng)產(chǎn)塵。

　　2. 物料管控：所有進(jìn)入潔凈區(qū)的材料、設(shè)備、工具，必須在區(qū)外進(jìn)行清潔，去除外包裝、粉塵、油污，經(jīng)緩沖間或傳遞窗進(jìn)入，嚴(yán)禁未經(jīng)清潔的物料進(jìn)入潔凈區(qū)。產(chǎn)塵材料如水泥、沙子等，嚴(yán)禁進(jìn)入潔凈區(qū)，所有產(chǎn)塵作業(yè)均在區(qū)外完成預(yù)制后進(jìn)場(chǎng)。

　　3. 環(huán)境管控：潔凈施工區(qū)每日施工結(jié)束后，用工業(yè)吸塵器全面清潔，嚴(yán)禁用掃帚、拖把清掃，避免揚(yáng)塵。超潔凈施工階段，每日開(kāi)啟空調(diào)系統(tǒng)持續(xù)吹掃，保持車間內(nèi)正壓，防止外界粉塵進(jìn)入。定期對(duì)潔凈區(qū)內(nèi)的懸浮粒子濃度進(jìn)行檢測(cè)，確保施工環(huán)境符合管控要求。

　　4. 作業(yè)管控：潔凈區(qū)內(nèi)嚴(yán)禁進(jìn)行切割、打磨、鉆孔、焊接等產(chǎn)塵作業(yè)，所有預(yù)制工序均在車間外完成，確需在潔凈區(qū)內(nèi)進(jìn)行的少量鉆孔作業(yè)，必須采取濕法作業(yè)或吸塵措施，作業(yè)完成后立即全面清潔，嚴(yán)禁無(wú)防護(hù)的產(chǎn)塵作業(yè)。

　　七、安全文明施工與應(yīng)急管理

　　7.1 安全文明施工要求

　　1. 施工現(xiàn)場(chǎng)全封閉圍擋，設(shè)置門禁系統(tǒng)，嚴(yán)禁無(wú)關(guān)人員進(jìn)入，施工現(xiàn)場(chǎng)入口處設(shè)置五牌一圖，明確安全警示標(biāo)志;

　　2. 臨時(shí)用電嚴(yán)格執(zhí)行“三級(jí)配電、兩級(jí)保護(hù)”制度，所有電氣設(shè)備接地接零保護(hù)到位，嚴(yán)禁私拉亂接，特種作業(yè)人員持證上崗，嚴(yán)禁無(wú)證作業(yè);

　　3. 高空作業(yè)必須搭設(shè)合格的腳手架或操作平臺(tái)，作業(yè)人員系好安全帶，嚴(yán)禁高空拋物，吊頂內(nèi)作業(yè)佩戴安全帽，設(shè)置專人監(jiān)護(hù);

　　4. 施工現(xiàn)場(chǎng)嚴(yán)禁吸煙，配備足夠的消防器材，易燃材料單獨(dú)存放，遠(yuǎn)離火源，動(dòng)火作業(yè)辦理動(dòng)火證，設(shè)置專人監(jiān)護(hù)，配備滅火器材;

　　5. 施工材料分類堆放，碼放整齊，施工垃圾日產(chǎn)日清，嚴(yán)禁隨意堆放，施工現(xiàn)場(chǎng)保持整潔有序，符合上海市文明施工要求;

　　6. 施工過(guò)程中采取降噪措施，避免夜間施工，確需夜間施工的，辦理夜間施工許可，提前告知周邊單位，減少施工噪聲對(duì)周邊環(huán)境的影響。

　　7.2 應(yīng)急預(yù)案

　　針對(duì)施工過(guò)程中可能發(fā)生的高處墜落、物體打擊、觸電、火災(zāi)、坍塌等突發(fā)事件，制定專項(xiàng)應(yīng)急預(yù)案，成立應(yīng)急領(lǐng)導(dǎo)小組，明確應(yīng)急職責(zé)、處置流程、救援措施，配備應(yīng)急救援器材和藥品，定期組織應(yīng)急演練。施工現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置應(yīng)急撤離通道，確保突發(fā)事件發(fā)生時(shí)，人員能夠快速撤離、及時(shí)救援，最大限度減少人員傷亡和財(cái)產(chǎn)損失。

　　八、竣工驗(yàn)收與性能檢測(cè)

　　8.1 驗(yàn)收流程本項(xiàng)目竣工驗(yàn)收分為三個(gè)階段：

　　1. 預(yù)驗(yàn)收：工程全部施工完成后，施工單位自行組織全面自檢，整改完成后，向建設(shè)單位、監(jiān)理單位提交預(yù)驗(yàn)收申請(qǐng)，三方共同進(jìn)行預(yù)驗(yàn)收，對(duì)發(fā)現(xiàn)的問(wèn)題限期整改，整改完成后進(jìn)入正式驗(yàn)收階段;

　　2. 第三方檢測(cè)：預(yù)驗(yàn)收合格后，委托具備CMA資質(zhì)的第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)，對(duì)潔凈車間各項(xiàng)性能指標(biāo)進(jìn)行全面檢測(cè)，出具正式檢測(cè)報(bào)告，檢測(cè)項(xiàng)目全部達(dá)標(biāo)后，方可組織竣工驗(yàn)收;

　　3. 竣工驗(yàn)收：建設(shè)單位組織設(shè)計(jì)、監(jiān)理、施工單位共同進(jìn)行竣工驗(yàn)收，核查工程竣工資料，現(xiàn)場(chǎng)查驗(yàn)工程質(zhì)量，確認(rèn)各項(xiàng)指標(biāo)符合設(shè)計(jì)及規(guī)范要求后，簽署竣工驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，工程正式交付使用。

　　8.2 核心檢測(cè)項(xiàng)目

　　第三方檢測(cè)嚴(yán)格按照GB50591-2010規(guī)范執(zhí)行，核心檢測(cè)項(xiàng)目包括：懸浮粒子潔凈度等級(jí)、溫濕度、靜壓差、換氣次數(shù)/氣流速度、高效過(guò)濾器檢漏、噪聲、照度、防靜電性能、浮游菌/沉降菌(按需)，所有檢測(cè)項(xiàng)目必須符合設(shè)計(jì)要求及國(guó)家規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)，檢測(cè)報(bào)告作為竣工驗(yàn)收的必備資料。

　　8.3 竣工資料交付工程竣工驗(yàn)收后，向建設(shè)單位交付完整的竣工資料，包括：工程竣工圖、設(shè)計(jì)變更文件、材料設(shè)備合格證及檢測(cè)報(bào)告、隱蔽工程驗(yàn)收記錄、各分項(xiàng)工程驗(yàn)收記錄、系統(tǒng)調(diào)試記錄、第三方檢測(cè)報(bào)告、設(shè)備使用說(shuō)明書、保修書等，所有資料裝訂成冊(cè)，一式四份，滿足建設(shè)單位存檔及運(yùn)維需求。

　　九、保修與運(yùn)維服務(wù)

　　本項(xiàng)目工程質(zhì)保期為1年，自竣工驗(yàn)收合格之日起計(jì)算，質(zhì)保期內(nèi)，因施工質(zhì)量造成的問(wèn)題，我方在接到通知后24小時(shí)內(nèi)響應(yīng)，48小時(shí)內(nèi)派員到場(chǎng)免費(fèi)維修，確保車間正常運(yùn)行。質(zhì)保期結(jié)束后，提供終身運(yùn)維服務(wù)，定期為建設(shè)單位提供系統(tǒng)維護(hù)、過(guò)濾器更換、性能檢測(cè)等技術(shù)服務(wù)，保障潔凈車間長(zhǎng)期穩(wěn)定達(dá)標(biāo)運(yùn)行。